直流四探針電阻測試儀

直流四探針電阻測試儀探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO 膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配專用探頭， 也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

直流四探針電阻測試儀儀器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。

1. 材料尺寸(由選配測試臺(tái)和測試方式?jīng)Q定)

直 徑：圓測試臺(tái)直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限

方測試臺(tái)直接測試方式 180mm×180mm，手持方式不限. 長(高)度： 測試臺(tái)直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.

BEST-300C 測試儀能夠測量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻（薄片電阻率）R 口

以及體電阻 R，測量時(shí)需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。

本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測試的基本修正系數(shù)設(shè)定， 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定，極大的提高了測試精度。測試類別的快捷選擇方式，方便了用戶同時(shí)測試多個(gè)參數(shù)，提高測試效率。整機(jī)測量最大相對(duì)誤差：≤±3%；整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%四位半顯示讀數(shù)；八量程自動(dòng)或手動(dòng)測試；范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；正反向電流源修正測量電阻誤差恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測量并無影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。可配合多種探頭進(jìn)行測試；也可配合多種測試臺(tái)進(jìn)行測試。校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測試量程 全量程自動(dòng)清零。厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好.具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機(jī)測試。接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測試數(shù)據(jù)軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

在設(shè)定模式下（設(shè)定完畢，保存好數(shù)據(jù)后），選擇測量類別（電阻率ρ、方塊電阻

（薄片電阻率）R 口或體電阻 R 中三選一，切換儀器到“測量"模式，窗口左側(cè)“測量" 模式燈亮。電阻測量,注意良好接觸，電壓測試端在內(nèi)側(cè)；半導(dǎo)體參數(shù)測試，將探針與樣品良好接觸，注意壓力要適中；由數(shù)字顯示窗直接讀出測量值。

注意！測量狀態(tài)中，電流量程默認(rèn)為自動(dòng)方式，也可調(diào)整為手動(dòng)方式，手動(dòng)方式下， 電流量程適合的，儀器會(huì)穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù)，電流量程不適合的會(huì)給出超量程或欠量程閃爍提示，對(duì)于超量程，說明電流過大，要調(diào)到較小電流檔；對(duì)于欠量程，說明電流過小， 要調(diào)到較大電流檔。